Información acerca de las bobinas de RF de Glass Expansion

La función de la bobina de RF

La bobina de RF es el último componente del sistema eléctrico utilizado para generar un plasma de argón. Al tratarse del último componente, la bobina adquiere una gran importancia en la transferencia de energía de RF al plasma.

Existen tres factores que afectan a la función de transferencia de energía que desempeña la bobina de RF:

Al encontrarse expuesta al entorno de la caja de la antorcha, el estado de la bobina tiene un efecto decisivo sobre la eficacia de la transferencia de energía al plasma. Cuanto mayor es la corrosión, mayor es la cantidad de energía eléctrica que se necesita para generar un plasma de la misma potencia. Este hecho traslada una tensión excesiva al resto de componentes eléctricos utilizados en el sistema de RF, contribuyendo posiblemente a un fallo prematuro.

Hay tres aspectos principales que afectan a la transferencia de energía desde el plasma a la muestra.

Las bobinas de RF son tan sólo uno de los muchos componentes decisivos que se requieren para generar el plasma. Gracias a las bobinas de RF y a las herramientas de instalación de Glass Expansion, resulta posible cambiar una bobina con mayor frecuencia y sin costes de asistencia. De este modo, se asegura que esta pieza del sistema de RF continúe funcionando en condiciones de rendimiento óptimas.